關於降低沸石轉輪設備內部VOCs殘留的（de）方法

目前國內（nèi）外（wài）對VOC的末端（duān）治理方法有：冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體淨化等。以沸石材料為載體的吸附濃縮法處理VOC廢氣（沸（fèi）石轉輪）得到了較為（wéi）廣泛的應用。全國對（duì）VOCs汙染物防治的要求和力度逐漸加強，低濃度廢氣治理（lǐ）的沸石轉輪吸附濃縮法成為了很多企業的優選（xuǎn）治理方案。

降（jiàng）低沸石轉輪（lún）設備內部VOCs殘留（liú）可從改善VOCs廢氣的（de）進氣（qì）質（zhì）量和加強脫附效率兩（liǎng）方麵入手。

（1）廢氣預處理

廢氣預處理措施通常有除塵、除濕、除（chú）霧、除高沸物等。針對待處理的VOCs廢（fèi）氣實際情況，選取適當的廢氣（qì）預處理措施。比如，半導體生產製造過程對生產場所的顆粒物有嚴格的要求，生產場所通常為潔淨車（chē）間。因此（cǐ），有機廢氣中（zhōng）的顆粒物含量極少，通常無（wú）需進行（háng）除（chú）塵（chén）預處理。

比如，芯片製造業生產過程（chéng）中使用的主要有機原料通過（guò）具有低沸點、易揮發的特點，但仍不排除少量高沸點物質，如剝離液（yè）的主（zhǔ）要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可在（zài）高（gāo）沸點物質主要使用工序增設冷凝、前道（dào）活性炭吸附（fù）等預處理裝（zhuāng）置，以（yǐ）降低（dī）VOCs廢氣中難脫附高沸點物質進入沸石轉輪。

高沸點VOCs進入廢氣管道後（hòu）容易產生凝結，從而使廢氣濕度增大。當進（jìn）入沸石轉輪係統的有機廢氣濕度大於80%時，將對疏（shū）水性沸石分子篩產生較為嚴重的影響。因此（cǐ），建議企業對高濕度廢氣增設（shè）幹燥（zào）除（chú）濕預處理裝置，使得進入廢水轉輪係統的廢氣濕度保（bǎo）持在穩（wěn）定、可控的範圍內。

（2）高溫再（zài）生

根據對國內芯片企業開展的調研可知，芯（xīn）片製（zhì）造業常用的有機物質有異丙醇（沸點為82.45℃）、丙二醇單（dān）甲（jiǎ）醚乙酸酯（沸點（diǎn）為146℃）；同時還含有（yǒu）少量的高沸（fèi）點物（wù）質，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。

通常芯片製造業沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸（fèi）點的二（èr）甘醇胺等物質（zhì）將無法從沸石轉輪上有效脫附，從而逐漸積聚在轉（zhuǎn）輪內部。

對（duì）沸石轉輪係統的高沸點物質聚（jù）集情況開展了研究，當沸石轉（zhuǎn）輪係統運行（háng）1個月後（hòu），轉輪內部確實有較大量的有（yǒu）機物積聚，其有機物積聚量即達6wt。進行有效的高溫脫（tuō）附之後，其內部的有機物積聚量可降低約（yuē）40%～60%。因此，高溫脫附可較為有效地去除沸石（shí）轉輪內部積聚（jù）的高沸點有機（jī）物質。

企業應根（gēn）據廢氣的實際產生情況，分（fèn）析廢（fèi）氣組成分布，分（fèn）析高沸點物質占比情況，以及（jí）廢氣的產生總量等內容，從而確定高溫再生頻次。較為適宜的高溫再生頻次為2～3個月（yuè）一次。

高溫再（zài）生的溫度也會影響高溫脫附（fù）效果。若高溫脫附溫度（dù）選取過低，則高沸（fèi）點物質仍無法（fǎ）有效脫除；若（ruò）高溫脫附溫度選取過高，將對沸石分子篩的骨架結構產生一定的影響，從而降低其使用壽命（mìng）。高（gāo）溫脫附溫度宜選取300℃左右，並且，相應的沸（fèi）石轉輪內部配（pèi）件（jiàn）均需采用可耐300℃高溫的密封配件。

(3)水洗再生

芯片製造業常用的有機物質（如異丙醇、丙二醇單（dān）甲醚乙酸酯等）通常具有較好的水溶（róng）性，可采（cǎi）用水洗再生的方式去除沸石（shí）轉（zhuǎn）輪內部聚集的高沸點物質。

水洗再生可有效提高（gāo）沸石（shí）轉輪係統的治理效率，對於工廠，當水洗再（zài）生次數達到4～6次/年時，沸石轉輪係統（tǒng）的治理效率可達95%～99%。因此（cǐ），適當增加定期（qī）水洗再生頻次，可有效防止高沸點物質在沸石轉（zhuǎn）輪內部的聚集，保持（chí）高效的治理效（xiào）率。

由於沸石轉輪（lún）通常采用無（wú）機粘合劑將分子（zǐ）篩塗覆在陶瓷（cí）纖維紙表麵製（zhì）造而（ér）成。故水洗時不僅轉輪不會發生龜裂形變，也不會發生由（yóu）於（yú）分（fèn）子篩脫（tuō）落所導致的性能劣化、使用（yòng）壽命縮（suō）短等問題。

但是，水洗時需要注意水質狀況，若其中大量含有鈣、鎂等（děng）離子，將可能在沸石內部形成碳（tàn）酸鹽，阻塞沸（fèi）石轉輪的蜂（fēng）窩狀（zhuàng）孔道；水中所含微（wēi）量重金屬物質、氯等也會毒化沸石（shí）。

值得注意的是，並非所有沸石轉輪材質均可耐水洗（xǐ），企業（yè）應在（zài）水性（xìng）再生之前，向沸石轉輪設備的製造廠商做好相關的谘詢工作。

（4）高壓空氣吹掃

企業（yè）在停機檢維修期（qī）間，采用高壓空氣對沸石轉輪進行吹掃。然而（ér），高壓（yā）空氣吹掃通常隻可清楚沸石轉輪表麵附著（zhe）的灰塵，而VOCs有機質通常吸附在（zài）分（fèn）子篩孔（kǒng）道內部，無法（fǎ）得（dé）到有（yǒu）效的脫除，還需與上述其他處理方（fāng）式配合選用。