關（guān）於降低沸石轉輪設備內部（bù）VOCs殘留的方（fāng）法

目前國內外對VOC的末端治理方（fāng）法有：冷凝、吸附、氧化、生物（wù）處理、吸收、等離子體淨化等（děng）。以沸石材料為載體的吸（xī）附濃縮法處理VOC廢氣（沸（fèi）石（shí）轉（zhuǎn）輪）得到（dào）了（le）較（jiào）為廣泛的應用。全國對VOCs汙染物防治的要求（qiú）和力度逐漸加強，低濃度廢氣治（zhì）理的（de）沸石轉輪吸附濃縮法成為了很多（duō）企業的優選治理方案。

降低沸石轉輪設備內部VOCs殘留可從改善（shàn）VOCs廢氣的進（jìn）氣質量和加強脫附效率（lǜ）兩方麵入手。

（1）廢氣預處理

廢氣預處理（lǐ）措施通常有除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對待處理的VOCs廢（fèi）氣實際情況，選取（qǔ）適當的廢氣預處理措施。比如，半導體生產製造過程對（duì）生產場所的顆粒物有嚴（yán）格的要求（qiú），生產場（chǎng）所通常為（wéi）潔淨車（chē）間。因（yīn）此，有機廢氣中的顆粒物含量極少（shǎo），通常無（wú）需進（jìn）行除塵預處理。

比如，芯（xīn）片製造業生產（chǎn）過程中使用的主要有機原料通（tōng）過具有（yǒu）低沸（fèi）點、易（yì）揮發的特點，但仍（réng）不排除少量高沸點物質，如剝離液的主要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可在高沸點物質主要使用工序增設冷凝、前道活性炭吸（xī）附等預處理裝置，以（yǐ）降低VOCs廢氣中（zhōng）難脫附高沸點物質進入沸石轉輪。

高沸點VOCs進入廢氣管道後容易產生凝結，從（cóng）而使廢氣濕度增大。當進入沸石轉輪係統的有（yǒu）機廢氣濕度大於80%時，將對疏水性（xìng）沸石分子篩產生較為嚴重的影響。因此（cǐ），建議企業對高濕度（dù）廢氣增設幹燥除濕預處理裝置，使得進入廢水轉輪係統的廢氣濕度（dù）保持在穩定、可控（kòng）的範圍內。

（2）高溫再生

根據（jù）對國內芯片（piàn）企業開展的調研可知，芯片製造業常用的（de）有（yǒu）機物質有異丙醇（沸點為82.45℃）、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸點為146℃）；同時還（hái）含有少（shǎo）量的高沸（fèi）點物（wù）質，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。

通常芯片製造業沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質將無法從沸石轉輪上有效脫附，從而（ér）逐漸積聚在轉輪內部（bù）。

對沸石轉輪係（xì）統的高沸點物質聚集情況開展了研究，當沸石轉輪係統運行1個月後，轉輪（lún）內部確（què）實有（yǒu）較大量的有機物積聚，其有機物積聚量即（jí）達6wt。進行有效的高溫脫附之後，其內（nèi）部的有機物積聚量可降（jiàng）低約40%～60%。因此，高溫脫附（fù）可較為有效地去除沸石轉輪內部積聚的高沸點有機（jī）物質。

企業應根據廢氣的實際（jì）產生情況，分析廢氣組成分布，分析高沸（fèi）點物質（zhì）占比情況，以及廢氣的產生總量等內容，從而確定（dìng）高溫再生頻次。較為適宜的高溫再生頻次為2～3個月一（yī）次。

高溫再生的（de）溫度也會影響高溫脫附效（xiào）果。若高溫脫附溫度選取過低，則高（gāo）沸點物質仍無法有效脫除（chú）；若高溫脫附溫（wēn）度選取過高，將對沸石分子（zǐ）篩的骨架結構產生一（yī）定的影響，從而降低其使用壽命。高溫脫附溫度（dù）宜選取300℃左右，並且，相應的沸石轉輪內部配（pèi）件均需采用可耐300℃高溫的密（mì）封配（pèi）件。

(3)水洗再生

芯片製造業常用的有機物質（如異（yì）丙醇、丙二醇單（dān）甲（jiǎ）醚乙（yǐ）酸酯等）通常具有較好的水溶性，可采用水洗（xǐ）再生的方式去除沸石轉輪內部聚集的高沸點物（wù）質。

水洗再生可有效提高沸石轉輪係統的治理效率，對於工廠，當水洗再（zài）生次數達到4～6次/年時，沸石轉輪係統的治理（lǐ）效率可達95%～99%。因此，適當增加定期（qī）水洗再生頻（pín）次，可有效防止高沸點物質在沸石轉輪內部的（de）聚集，保持高效的治理效率。

由於沸石轉輪通常采用無機粘合劑將分子篩塗覆在陶瓷纖維紙表（biǎo）麵製造（zào）而成。故水洗時不僅轉輪不會發生龜裂形變（biàn），也不會發生（shēng）由於分子篩脫落所導（dǎo）致的性能（néng）劣化（huà）、使用（yòng）壽命縮短等問題。

但是，水洗時（shí）需要（yào）注意水質狀況，若其中大量含有鈣、鎂等離子，將（jiāng）可能在沸石（shí）內部形成碳酸鹽，阻塞沸石轉輪的蜂窩狀孔（kǒng）道；水中所含微量重金屬物質、氯等也會毒化沸（fèi）石。

值得注意的是，並非所有沸石轉輪材質均可耐水洗，企業應在水性再生之前，向沸石轉輪設備的製造廠商做好相關的谘詢（xún）工（gōng）作。

（4）高壓空（kōng）氣吹掃

企業在停機檢維修期間，采用高壓空氣對沸石轉輪進行吹掃。然而，高壓空氣（qì）吹掃通常隻可清楚沸石轉（zhuǎn）輪表麵附著的灰塵，而VOCs有機質通常吸附在分子篩孔（kǒng）道內部，無法得到有效的脫除，還需與上述其他處理方式配合選用。